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何に何が混入したのかなぁ
＃まあ、聞いても分からんかもしれないけれど（汗）
何には、流石にターゲットとかはなさそうなので、レジストか、ガスですかね。ディスプレイ作ってたときは、途中で抜取りした奴の手袋の跡が、画像検査で出たことがあった。
雰囲気的に復旧に手間取ってる感じなので液状のなにかかガスですかねぇ固体のものなら、該当品を排除すれば済むだろうし。＃揮発しやすいものが混じってチャンバーを汚染して悪さしてるというのもあるかもだけど。
半導体の場合は異物混入とは言わないのか
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何に何が？ (スコア:0)
何に何が混入したのかなぁ
＃まあ、聞いても分からんかもしれないけれど（汗）
Re: (スコア:0)
何には、流石にターゲットとかはなさそうなので、レジストか、ガスですかね。
ディスプレイ作ってたときは、途中で抜取りした奴の手袋の跡が、画像検査で出たことがあった。
Re: (スコア:0)
雰囲気的に復旧に手間取ってる感じなので液状のなにかかガスですかねぇ
固体のものなら、該当品を排除すれば済むだろうし。
＃揮発しやすいものが混じってチャンバーを汚染して悪さしてるというのもあるかもだけど。
Re:何に何が？ (スコア:0)
半導体の場合は異物混入とは言わないのか