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プロセス技術はまったく素人なのでとんちんかんな質問ならごめんなさい。
既存のプロセス技術とどう融合できて、どれくらい集積できるのでしょうか?既存のLSI上のトランジスタをそのまま置き換えられるようなものなのでしょうか?
プロセス技術で量産時問題になりそうなのは電子線リソグラフィーを利用していることです。写真の焼き付けのようなエッチングと比べて,一本一本プロッタのように線を書く必要がある電子線リソグラフィーは,スループットが上がらないのでまだ量産では使われていないはずです。電子が飛ぶように真空にしないといけないですし。
装置としては電子顕微鏡(SEM)のようなもん。
EUVはどうなのさ?
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一つのことを行い、またそれをうまくやるプログラムを書け -- Malcolm Douglas McIlroy
どれくらい集積できるのか (スコア:1)
プロセス技術はまったく素人なのでとんちんかんな質問ならごめんなさい。
既存のプロセス技術とどう融合できて、どれくらい集積できるのでしょうか?
既存のLSI上のトランジスタをそのまま置き換えられるようなものなのでしょうか?
Re:どれくらい集積できるのか (スコア:1)
プロセス技術で量産時問題になりそうなのは電子線リソグラフィーを利用していることです。
写真の焼き付けのようなエッチングと比べて,一本一本プロッタのように線を書く必要がある電子線リソグラフィーは,
スループットが上がらないのでまだ量産では使われていないはずです。
電子が飛ぶように真空にしないといけないですし。
装置としては電子顕微鏡(SEM)のようなもん。
Re: (スコア:0)
EUVはどうなのさ?