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これ、EUV露光機はASMLから買いたいって明言していてむやみにニコンやキヤノンに金を突っ込む話になってないのはよかった
キャノンはNILって独自の製造装置を開発したんですけどEUVと違って消費電力も少なくコストも低いのが売りなんですけどどういう扱いなんでしょうか
ナノインプリントは、固定パターン向けなのでDRAMとかNANDフラッシュ向けの技術。今回のようなロジック向けのプロセスには使いにくい。
日本の技術で行くなら、電子ビーム描画で直接IC作る方が向いてるかもしれない。実験用の試作ラインでは今でも使ってるし、EUVよりもさらに微細化できるよ。ウエハ1枚当たりのコストは多分EUVの10倍とか100倍とかになるけど。
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あつくて寝られない時はhackしろ! 386BSD(98)はそうやってつくられましたよ? -- あるハッカー
露光機 (スコア:0)
これ、EUV露光機はASMLから買いたいって明言していてむやみにニコンやキヤノンに金を突っ込む話になってないのはよかった
Re: (スコア:0)
キャノンはNILって独自の製造装置を開発したんですけど
EUVと違って消費電力も少なくコストも低いのが売りなんですけどどういう扱いなんでしょうか
Re:露光機 (スコア:0)
ナノインプリントは、固定パターン向けなのでDRAMとかNANDフラッシュ向けの技術。
今回のようなロジック向けのプロセスには使いにくい。
日本の技術で行くなら、電子ビーム描画で直接IC作る方が向いてるかもしれない。
実験用の試作ラインでは今でも使ってるし、EUVよりもさらに微細化できるよ。
ウエハ1枚当たりのコストは多分EUVの10倍とか100倍とかになるけど。