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ビジネス

SamsungのDRAM工場でクリーンルーム汚染、200mmウェハ数百万ドルが廃棄される 75

ストーリー by hylom
どうしてこうなった 部門より

韓SamsungのDRAM工場でクリーンルーム内の汚染が発生、それによって200mmウェハの破棄が行われたとのこと(PC PerspectiveTechPowerUptom's Hardware)。

これによるSamsungの損害は数百万ドルにも相当すると報じられている。Samsungは主要DRAMメーカーの1つであり、これによってDRAM価格が将来的に上昇する可能性も指摘されている。

  • 「シリコンウエハーの歩留まりの悪さに工場を調査したら
    業務終了後のクリーンルーム内で作業員がピザを焼いていた」
    (アメリカだったかメキシコだったか)

    というハナシをなんかで読んだことがあった
    そのたぐいの問題かしら

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  • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 12時15分 (#3716921)

    昔は部屋全体をクリーンにする方法が当たり前だったのだが、
    最近は、部屋全体はほどほどにクリーンにして、
    機器内部や搬送装置内部、搬送容器内部だけものすごくクリーンにして、それ以外はほどほどのクリーンさで
    済ますほうになった

    ウェハーは、搬送装置か搬送容器に入れて運ばれる

    ここに返信
    • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 13時22分 (#3716959)
      その通りですけど、今回の話は200mmのラインですよ。
      200mmでもSMIFがありますが、あまり普及していない印象です。
      少なくともサムスンでは、300mmに移行し始めた2000年代前半は、200mmはオープンカセットを使っていました。
      その後、新規導入装置は300mmでしょうから、200mmラインは既存装置をやりくりして使ってるものと想像します。
      なので、オープンカセットじゃないかなぁ。
  • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 6時08分 (#3716761)

    被害額は数百万ドルでしょ。
    決して小さくはないが、DRAMの市場規模は600億ドルとからしい [eetimes.jp]から誤差だと思うな。
    値段が上がるとすれば何か言い訳をして協調した値上げをするとかそういう感じだとしか思えない。

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    • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 10時39分 (#3716871)
      装置のトラブルで没ロットを出したとき、「数百万ドルの損害だ。おたくの装置が丸々変えるだけのウェーハを無駄にしたことを、よく認識してください。」なんて叱られたことがあります。
      この場合は、おそらく最終製品となった場合の価格のことでしょうし、盛ってるところもあるかもしれません。一方今回の話は対外的に発表するのに少なめの数字が出るような計算をしているかもしれませんが、それでも数百万ドルって、たいしたことねーなという印象です。

      今時200mmというと、ディスクリート、パワー、MEMS、アナログくらいで、基本的にDRAMは300mmで作ります。
      あえて、200mmでやってるということは、過酷環境や超高信頼性が必要な特定用途向けのメモリーで、レガシーな技術で作り続けてほしいという特定顧客向けのものだと想像します。
      なので、そういう顧客は大打撃かもしれませんが、一般用途のDRAMには影響ないと思います。
      • by Anonymous Coward

        自分もトラブルでファシリティの警報が上がって装置が置いてある区画全体が止まり、賠償?!というところまで話がいって肝を冷やしました。

    • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 8時53分 (#3716804)

      https://www.techpowerup.com/261049/samsung-faces-factory-contamination [techpowerup.com]

      ここを見ると数百万ドルの損失ってのは、汚染されたウェハー分ですね。
      工場全体が汚染されたら、元のクリーン度に戻すまで操業できないから
      数百万ドルじゃ済まない気がするが・・・

    • by Anonymous Coward

      TSMCの5億ドルに比べたらかわいいかわいい。
      https://eetimes.jp/ee/articles/1902/20/news139.html [eetimes.jp]

      • by Anonymous Coward

        この前の新幹線水没にしたって被害額は100億円規模なわけでしょ

        • by Anonymous Coward

          5億ドルは540億円なわけだが

  • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 7時17分 (#3716770)

    そんなの隠して汚染ウェハで製品を作り上げて
    適当に売りさばく、みたいな事はやらないんだな。
    そんなもん売ると、1日ももたずにぶっ壊れてバレバレだったりするの?

    ここに返信
    • 検査工程で引っかかるからソレは無理ですね。
      流石に品証はしっかりしてるでしょうし。

      リンク先記事見ても汚染原因についてはあまり書かれていませんね。
      製造設備か施設側か作業者か、ソレ以外がなにかを持ち込んだのか。

      昔日本で壁紙やコーキング材から滲み出る物質(溶剤?)が原因だったとかもありましたね。

      • by Anonymous Coward

        日本のじゃないHFのせいに違いない。

        • 天井の層流フィルターに欠陥があった場合、局所的にゴミが増えたのが発覚するくらいで。
          クリーンルーム全体が汚染されるまでになることは少なそう。

          • by Anonymous Coward

            クリーンルーム全体が汚染されたなら大変なことやで。
            復旧に何ヶ月もかかって工場停止による損害は、ウエハーの破棄程度の損害では済まない。

            • すみません、CR全体はないですね、部屋内でしたね。
              昔居たところで天井フィルターは年一くらいで全チェックして、漏れてるのが有れば交換してました。
              フィルターから漏れる塵埃ゴミは、ほぼ局所的な影響しか無くてそんなに拡散しないので、今回の原因はなんぞ揮発性のある物質が漏れてたのかな。

    • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 9時56分 (#3716841)

      前科あるから懲りたか、騙し騙し動かすことすらできないレベルだったんじゃね?
      https://korea-keizai.com/20190329samsung-ele/ [korea-keizai.com]

      • by Anonymous Coward

        Apple向けフラッシュメモリの時はウェハーメーカーのせいにしたんだっけか

    • by Anonymous Coward

      接合や絶縁膜に影響が出るレベルなら、初期の通電テストで落ちる。
      DRAMだとデータ保持時間に影響が出たら売り物にならない。

    • by Anonymous Coward

      B級品を売りさばくための別会社を用意して、
      自社ブランドとしての検査には不合格だが、使えないことも無いレベルの製品は、
      B級品子会社の名前つけて売り出せばいいのに

  • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 9時37分 (#3716828)

    ソースを見ても特に原因は書いてないんですよね。「限定的だ。供給に問題ない」というコメントも
    サムスン発なのかニュース発信者の考えなのかよくわからないですし。
    エッチングガスの輸出管理強化が具体的にどういう影響出ているかも不明確なのでいまひとつ。

    ここに返信
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日々是ハック也 -- あるハードコアバイナリアン

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