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まず、酸素・窒素・アルゴン等を分離してるプラントでついでにネオンも分離するこれで通常グレードのネオンガスが出来る
この通常グレードのネオンをさらに精製して、半導体グレードのネオンを製造する
しかも世界シェアの相当量(過半?)がロシアでネオン分離しウクライナで精製だから、ロシアのウクライナ侵攻でサプライが破綻したって話でもある。
半導体グレードのネオンといっても、ネオンをドーピングするとは思えず、加工時の雰囲気用不活性ガス用途では?
半導体製造工程の一部であるフォトリソグラフィーのためのエキシマレーザにネオンガスを使う。パルスレーザ蒸着とかで使っている大学の研究室もあるけど、エキシマレーザのメーカが結構純度とかいろいろと厳しい指定をしているし、ネオン無しで発振させるのは裏技扱い。
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Stableって古いって意味だっけ? -- Debian初級
2段階の精製 (スコア:0)
まず、酸素・窒素・アルゴン等を分離してるプラントでついでにネオンも分離する
これで通常グレードのネオンガスが出来る
この通常グレードのネオンをさらに精製して、半導体グレードのネオンを製造する
Re: (スコア:0)
しかも世界シェアの相当量(過半?)がロシアでネオン分離しウクライナで精製だから、ロシアのウクライナ侵攻でサプライが破綻したって話でもある。
半導体グレードのネオンといっても、ネオンをドーピングするとは思えず、加工時の雰囲気用不活性ガス用途では?
Re:2段階の精製 (スコア:0)
半導体製造工程の一部であるフォトリソグラフィーのための
エキシマレーザにネオンガスを使う。
パルスレーザ蒸着とかで使っている大学の研究室もあるけど、
エキシマレーザのメーカが結構純度とかいろいろと厳しい
指定をしているし、ネオン無しで発振させるのは裏技扱い。