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出火原因はめっき装置で過電流が発生したことにより発火に至ったという。
アノード電極側の配線が、電流が流れている際になんらかの理由で断線し発火したとみられるという。 ブレーカーは搭載されており、発火した段階で線が切れているため、電気が流れる状況になっていなかったものの、 一部樹脂系材料が用いられている箇所があり、そこに引火して燃え広がったと考えられる [yahoo.co.jp]という。
煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
>>煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
人間という最大のゴミ発生源・汚染源に対処するためにクリーン化が進んでるので素人が考えるほど影響は大きくない密閉したチャンバー内で処理する装置間のウェハー搬送には同じく密閉したクリーンボックスを使ってる
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ソースを見ろ -- ある4桁UID
過電流 (スコア:3)
出火原因はいろいろ書かれているけどピンときませんが
出火原因はめっき装置で過電流が発生したことにより発火に至ったという。
アノード電極側の配線が、電流が流れている際になんらかの理由で断線し発火したとみられるという。
ブレーカーは搭載されており、発火した段階で線が切れているため、電気が流れる状況になっていなかったものの、
一部樹脂系材料が用いられている箇所があり、そこに引火して燃え広がったと考えられる [yahoo.co.jp]という。
煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
Re:過電流 (スコア:0)
>>煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
人間という最大のゴミ発生源・汚染源に対処するためにクリーン化が進んでるので素人が考えるほど影響は大きくない
密閉したチャンバー内で処理する装置間のウェハー搬送には同じく密閉したクリーンボックスを使ってる