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出火原因はめっき装置で過電流が発生したことにより発火に至ったという。
アノード電極側の配線が、電流が流れている際になんらかの理由で断線し発火したとみられるという。 ブレーカーは搭載されており、発火した段階で線が切れているため、電気が流れる状況になっていなかったものの、 一部樹脂系材料が用いられている箇所があり、そこに引火して燃え広がったと考えられる [yahoo.co.jp]という。
煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
ひと月で済むんかいな。再開しても産業のコメと言われる半導体は八十八工程の手間をかけて作られるので、ウエハー入れてから出てくるまでに月単位でかかる。
いや本当に運が悪かっただけだと思うけどね。出荷した製造装置も大手メーカーの既製品で、自分で何か改造してるわけでもないだろうし、PCみたいにオーバークロックとかできるわけでもない。
>>煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
人間という最大のゴミ発生源・汚染源に対処するためにクリーン化が進んでるので素人が考えるほど影響は大きくない密閉したチャンバー内で処理する装置間のウェハー搬送には同じく密閉したクリーンボックスを使ってる
大電流系の配線材の熱暴走(発熱→抵抗上昇→発熱量の上昇が連鎖)ということかな。メッキの場合定電流制御が用いられそうなので確かにありえそう。装置の設計上の問題か,半断線等でも起きる。電源装置の出力端電圧をモニタしてアラーム出す等対策が必要そう。一つの教訓となりそうです。配線材にメッキ液がかかると腐食して線径が細くなる可能性も有る。
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コンピュータは旧約聖書の神に似ている、規則は多く、慈悲は無い -- Joseph Campbell
過電流 (スコア:3)
出火原因はいろいろ書かれているけどピンときませんが
出火原因はめっき装置で過電流が発生したことにより発火に至ったという。
アノード電極側の配線が、電流が流れている際になんらかの理由で断線し発火したとみられるという。
ブレーカーは搭載されており、発火した段階で線が切れているため、電気が流れる状況になっていなかったものの、
一部樹脂系材料が用いられている箇所があり、そこに引火して燃え広がったと考えられる [yahoo.co.jp]という。
煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
Re: (スコア:0)
ひと月で済むんかいな。
再開しても産業のコメと言われる半導体は八十八工程の手間をかけて作られるので、
ウエハー入れてから出てくるまでに月単位でかかる。
Re: (スコア:0)
いや本当に運が悪かっただけだと思うけどね。
出荷した製造装置も大手メーカーの既製品で、自分で何か改造してるわけでもないだろうし、PCみたいにオーバークロックとかできるわけでもない。
Re: (スコア:0)
>>煤で汚れた部屋をクリーンにするだけでも、ひと月くらいかかるのでは
人間という最大のゴミ発生源・汚染源に対処するためにクリーン化が進んでるので素人が考えるほど影響は大きくない
密閉したチャンバー内で処理する装置間のウェハー搬送には同じく密閉したクリーンボックスを使ってる
Re: (スコア:0)
大電流系の配線材の熱暴走(発熱→抵抗上昇→発熱量の上昇が連鎖)ということかな。メッキの場合定電流制御が用いられそうなので確かにありえそう。装置の設計上の問題か,半断線等でも起きる。電源装置の出力端電圧をモニタしてアラーム出す等対策が必要そう。一つの教訓となりそうです。配線材にメッキ液がかかると腐食して線径が細くなる可能性も有る。