「サムスンのNANDフラッシュ工場で30分間の停電、3月の世界供給量の3.5%に相当するウェーハが損傷」記事へのコメント

ウェーハ損害だけでなく

[honttt (48326)]

おれがそういったのをかなり昔体験したときは 半導体工場では数多くの人体への有害物質が使われてるので 電源が落ちたりしてコントロールが外れるとクリーンルーム内の作業員に退避命令がなされた。 そこらへんは大丈夫だったのかな。 偏見だが韓国だけに心配。 ちな、おれが体験した時はそ担当者がいてボンベ背負って確認にいってた。 今はもっと安全面にシステムがふられてるのかな。

Re:

[Anonymous Coward]

昔の半導体工場は、建屋全体が高レベルのクリーンルームだったけど、今は違います。
高レベルなのは、加工する機械のチャンバー内と搬送に使うウエハケースの中だけです。
建屋自体は低レベルのクリーンルームになってて、ウエハが入ってるケースや加工機械と、人が歩ける工場内の空間は物理的に隔離されてます。
300mm以降の工場はほとんどこの形。
そのうえDRAM/FLASH等の工場は、加工から搬送まですべて自動化されてるので、ラインの近くに滅多に人はいません。

Re:ウェーハ損害だけでなく

[honttt (48326)]

そうなんだ。 もう昔とは全然違うんだね。 おれのときはバイポーラやってて3インチウェーハがまだ現役で最先端が6インチくらいの時代だったもんなぁ