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中部電力で0.07秒間の電圧降下発生、四日市工業地帯に大きな影響」記事へのコメント

  • 確か超電導電力貯蔵装置を使った無停電電源装置を導入していたような。
    でもこれでも0.05秒間の瞬断までにしか対応していないということなので、
    今回の事例を想定した場合だとラインの停止は免れないかもしれませんね。

    --
    masamic
    • Re: (スコア:5, 参考になる)

      半導体製造装置の場合、瞬低対策としてSEMI F47という規格への適合が求められます。
      この規格では50%のSAGに対して、0.2秒まで耐えなければならなかったと思います。
      今回は、0.07秒間、電圧が最大で半分程度まで下がったとのことなので、停止は免れたはずです。
      空調設備が停まったとしか書かれていないので、おそらく他の装置たちは問題なかったのでしょう。
      空調設備の瞬低対策に不具合でもあったのかもしれません。
      • by Anonymous Coward
        東芝のクリーンルームの空調停止で出荷量2割低下というのは大本営発表ですね。 どう考えても嘘っぽい。

        空調が止まったら単に再起動すれば良いだけの話で,ライン全体に影響が及ぶような事態にはならない。
        半導体の製造ラインは工場全体が仕掛品倉庫みたいなもので,順次ごく一部のウェハーが製造装置内に搬送されて加工,加工が終わったら次の装置で加工するまでポッド(搬送用のウェハー・ケース)に入れられたまま保管状態になるという仕組みになっている。
        空調が止まっても,製造装置が止まっても,その瞬間に加工中で被害が及ぶウェハーの枚数は想像以上に少ないんで

「毎々お世話になっております。仕様書を頂きたく。」「拝承」 -- ある会社の日常

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