「中部電力で0.07秒間の電圧降下発生、四日市工業地帯に大きな影響」記事へのコメント

関電エリアだけどシャープ堺工場の場合

[masamic (1186)]

確か超電導電力貯蔵装置を使った無停電電源装置を導入していたような。
でもこれでも0.05秒間の瞬断までにしか対応していないということなので、
今回の事例を想定した場合だとラインの停止は免れないかもしれませんね。

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masamic

Re:

[Ambitious Coward (31380)]

半導体製造装置の場合、瞬低対策としてSEMI F47という規格への適合が求められます。
この規格では50%のSAGに対して、0.2秒まで耐えなければならなかったと思います。
今回は、0.07秒間、電圧が最大で半分程度まで下がったとのことなので、停止は免れたはずです。
空調設備が停まったとしか書かれていないので、おそらく他の装置たちは問題なかったのでしょう。
空調設備の瞬低対策に不具合でもあったのかもしれません。

東芝は大本営発表

[Anonymous Coward]

東芝のクリーンルームの空調停止で出荷量２割低下というのは大本営発表ですね。　どう考えても嘘っぽい。

空調が止まったら単に再起動すれば良いだけの話で，ライン全体に影響が及ぶような事態にはならない。
半導体の製造ラインは工場全体が仕掛品倉庫みたいなもので，順次ごく一部のウェハーが製造装置内に搬送されて加工，加工が終わったら次の装置で加工するまでポッド（搬送用のウェハー・ケース）に入れられたまま保管状態になるという仕組みになっている。
空調が止まっても，製造装置が止まっても，その瞬間に加工中で被害が及ぶウェハーの枚数は想像以上に少ないんで

Re:

[tomone (15592)]

半導体製造では、ほこり一つない状態が必要だ。いったん止まると設備の洗浄や製造途中の半製品の撤去、設備の点検を経ないと、再開できない [asahi.com]

と、長時間停止する必要があるようですね。
でも、確かに空調が止まった途端にゴミが噴き出すとも考えにくいし、
製造装置のUPSはちゃんと動いたみたいだし。

でも、生産管理情報が入っているサーバーはもっと長時間のUPSが付いているはず。
少なくともちゃんとシャットダウン出来るくらいまでは。
だからサーバーが落ちてデータが完全に飛んだとも考えにくいですが。

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TomOne

Re:東芝は大本営発表

[colorless (35494)]

クリーンルームでは室内と室外の圧力差（室内の方が高い陽圧環境）を発生させているはずですので、
その圧力差が無くなると浮遊塵埃を含んだ空気が内部に流入する可能性は出てきます。
実際にそうなったかどうかは別として、これが否定できない以上、
生産に必要なクリーン度が確認できるまでは生産できないということかと。

海岸に落ちてるゴミを拾うのとは違って、どこに浮遊してるか分からない塵埃を減らさなくてはなりませんので、
時間掛かると思いますよ。

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答えはある。それを見つける能力が無いだけだ。