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記事でも触れられてるけど、水面下で原発再稼働が保証されてるとしか思えませんね。それ以外現実的な手段が皆無。
いかに北海道が人が少ないとは言え、半導体工場で何にそんなに電力食うの???何トンもある部材を動かすわけでもないし計算パワー使うわけでもないし…クリーンルームを維持するためのファンか、冬場の暖房か?
#室蘭(?)の製鉄が盛んだった頃は9時の始業開始に合わせて発電容量を切り替えていたとは聞いたことがある
液化したスズをレーザーで蒸発させる(?)とかいう意味不明の超非効率なオランダ製のランプを使ってるらしい加速器でも使った方がまだ省エネwとか言われてるレベルもちろんレンズは全光学面がツァイス特注の第一放物面鏡な
EUVの波長だと透過率が低すぎて屈折を利用したレンズは使えません。なので凸面鏡と凹面鏡を組み合わせた反射光学系になってます。光源自体の効率も高くないのはそうだけど、もっと問題なのはこの反射光学系の効率。反射を利用しても13.5nmの波長を100%反射できる材料がありません。反射率が70%と低く、10回反射で元の光源の2-3%になってしまい非効率になってます。
省エネいうなら、EB直描が一番いいんじゃないかな。EUVよりも高解像度だし、スループットに目をつむれば最高の性能を得られます。
> 10回反射で元の光源の2-3% はえー。残りの97%~98%は全部熱になるんですかね?光学系がゆがまないように冷却するのって至難の業な印象。
鏡の構造次第じゃね?反射以外の経路だと吸収以外に拡散や透過もある筈。でも最終的には仕事に変換されなかった分はほぼ100%熱でしょ。光や電波を排出しないなら、力学化学なエネルギーに変化してなきゃ大概は熱。
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「科学者は100%安全だと保証できないものは動かしてはならない」、科学者「えっ」、プログラマ「えっ」
道内で使用する電力の1~2割 !! (スコア:0)
記事でも触れられてるけど、水面下で原発再稼働が保証されてるとしか思えませんね。
それ以外現実的な手段が皆無。
Re: (スコア:0)
いかに北海道が人が少ないとは言え、半導体工場で何にそんなに電力食うの???
何トンもある部材を動かすわけでもないし計算パワー使うわけでもないし…
クリーンルームを維持するためのファンか、冬場の暖房か?
#室蘭(?)の製鉄が盛んだった頃は9時の始業開始に合わせて発電容量を切り替えていたとは聞いたことがある
Re: (スコア:0)
液化したスズをレーザーで蒸発させる(?)とかいう意味不明の超非効率なオランダ製のランプを使ってるらしい
加速器でも使った方がまだ省エネwとか言われてるレベル
もちろんレンズは全光学面がツァイス特注の第一放物面鏡な
Re: (スコア:0)
EUVの波長だと透過率が低すぎて屈折を利用したレンズは使えません。
なので凸面鏡と凹面鏡を組み合わせた反射光学系になってます。
光源自体の効率も高くないのはそうだけど、もっと問題なのはこの反射光学系の効率。
反射を利用しても13.5nmの波長を100%反射できる材料がありません。
反射率が70%と低く、10回反射で元の光源の2-3%になってしまい非効率になってます。
省エネいうなら、EB直描が一番いいんじゃないかな。
EUVよりも高解像度だし、スループットに目をつむれば最高の性能を得られます。
Re:道内で使用する電力の1~2割 !! (スコア:0)
> 10回反射で元の光源の2-3%
はえー。残りの97%~98%は全部熱になるんですかね?
光学系がゆがまないように冷却するのって至難の業な印象。
Re: (スコア:0)
鏡の構造次第じゃね?
反射以外の経路だと吸収以外に拡散や透過もある筈。
でも最終的には仕事に変換されなかった分はほぼ100%熱でしょ。
光や電波を排出しないなら、力学化学なエネルギーに変化してなきゃ大概は熱。