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のではなく、停電で強制停止したんだろうなあ大規模な工場にはUPSなんて入れようもないからどうしようもないんだけど
昔なら生産中のウェハーはすべて捨てるしかなかったようだけど今はどこまで救えるのかな
昔、「ほんものは誰だ」っていうTV番組あったの思い出したよ。各人がもっともらしいこと言ってるが、本物は一人。まあスラドでは本物がいる保証はないけど。
新聞の説明欄で本物の「仮面ライダー」は誰か?ってなっててワクワクしながら見たら、普段仮面をかぶってバイクを乗り回してる人はだれか?という一般人の話だったのでがっかりしたのを今でも覚えている。
熱処理やデポ中に止まったら全没、装置は全面洗浄昔から変わらないよ
空調と水関係停まってたらWIP全滅でしょうね。一々洗浄して検査してまでやり直すのは割に合わ無さそうだし。
「合わ無い」
地震と同時に停電することはまずないから揺れを検知して緊急停止するぐらいの時間的猶予はあったのでは?
レシピの工程終了前に装置が停止したら、装置内のは基本没再生するのはフォトレジストくらい使えるかどうか調べるのだってコストが掛かるんだよ
停電で即停止ってとこへの話であって使えるかどうかの話ではないだろうに
装置の中で処理中のウェハーなんて微々たるものです半導体生産ラインの中では驚くほど大量のウェハーが装置の前/横で処理待ちになっています(おまけに今はウェット洗浄等をのぞけば枚葉処理中心ですから)だから装置や配管が壊れるような地震で無い限り意外なほど生産量のダメージは少ない
うちは、2ロット分廃棄になって、納品5月以降と言われましたわ。。はっはっは。。
地震発生してから、停電するまでに自動停止したんじゃない。いきなり電気が切れたら、半導体プロセスは危険物満載だから、装置故障以上に大変なことになりかねない。
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犯人はmoriwaka -- Anonymous Coward
「各社の生産設備が地震発生時に自動で稼働を停止した」 (スコア:0)
のではなく、停電で強制停止したんだろうなあ
大規模な工場にはUPSなんて入れようもないからどうしようもないんだけど
昔なら生産中のウェハーはすべて捨てるしかなかったようだけど
今はどこまで救えるのかな
ここのスレッドを見て (スコア:1)
昔、「ほんものは誰だ」っていうTV番組あったの思い出したよ。
各人がもっともらしいこと言ってるが、本物は一人。
まあスラドでは本物がいる保証はないけど。
Re: (スコア:0)
新聞の説明欄で本物の「仮面ライダー」は誰か?ってなっててワクワクしながら見たら、普段仮面をかぶってバイクを乗り回してる人はだれか?
という一般人の話だったのでがっかりしたのを今でも覚えている。
Re: (スコア:0)
熱処理やデポ中に止まったら全没、装置は全面洗浄
昔から変わらないよ
Re:「各社の生産設備が地震発生時に自動で稼働を停止した」 (スコア:1)
空調と水関係停まってたらWIP全滅でしょうね。
一々洗浄して検査してまでやり直すのは割に合わ無さそうだし。
Re: (スコア:0)
「合わ無い」
Re: (スコア:0)
地震と同時に停電することはまずないから
揺れを検知して緊急停止するぐらいの時間的猶予はあったのでは?
Re: (スコア:0)
レシピの工程終了前に装置が停止したら、装置内のは基本没
再生するのはフォトレジストくらい
使えるかどうか調べるのだってコストが掛かるんだよ
Re: (スコア:0)
停電で即停止ってとこへの話であって使えるかどうかの話ではないだろうに
Re: (スコア:0)
装置の中で処理中のウェハーなんて微々たるものです
半導体生産ラインの中では驚くほど大量のウェハーが装置の前/横で処理待ちになっています
(おまけに今はウェット洗浄等をのぞけば枚葉処理中心ですから)
だから装置や配管が壊れるような地震で無い限り意外なほど生産量のダメージは少ない
Re: (スコア:0)
うちは、2ロット分廃棄になって、納品5月以降と言われましたわ。。はっはっは。。
Re: (スコア:0)
地震発生してから、停電するまでに自動停止したんじゃない。
いきなり電気が切れたら、半導体プロセスは危険物満載だから、装置故障以上に大変なことになりかねない。