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キヤノン、世界最大面積のCMOSセンサーで10等級の流星撮影」記事へのコメント

  • by Anonymous Coward

    このCMOSセンサーは202x205m

    と見えてしまい何事かと思った。
    普通なら元になるシリコン基板のサイズから考えられないのだが、シリコンウェハース自体を超巨大に生成する技術かとおもってしまった。

    せっかく㎜があるのだから使ってもよいのじゃなかろかと思った唯一の例かも

    #微細化は物理的な限度があるけどメニーコアで巨大なチップが作られる方向の話とかみるにつけ基盤サイズはでかくなる事は予想されるけどさ。

    • チップサイズの上限は、レンズで決まります。ウェハサイズは関係ありません。
      あと、上の方で「円形で良いじゃなイカ」と言っていますが、最近の露光機はスッテパじゃなくてスキャナなんで、
      ギリギリまで使うなら楕円になると思います。

      • by Anonymous Coward

        ×最近の露光機はスッテパじゃなくてスキャナなんで、
        ○最近の露光機はスッテパもスキャナもあるんで、

        ものによってはコンタクトもプロキシミティもまだあるし、製品・デザインルールにより多種多様(最先端の製品がすべてではない)
        まだまだ74HCシリーズの石が市場に出回ってるんだから

        • スキャナとステッパの使い分けは解像するパターンが微細かどうかで使い分けるようですよ。 最先端のLSIでもすべてにスキャナを使っているわけじゃなくて スキャナを使わなくてもいいところはステッパを使うみたいです。 記事によるとダイサイズが202×205mm、160万画素ですからセルは1440×1080配列でしょう、すると 受光部の1セルは140×190ミクロンとでっかい!です。 受光セルの分離と配線もありますけどそれにしてもスッテパで十分なレベルでしょうね。 ステッパで投影できる正方形は20×20mm (正確にはもう数mmいけます)ぐらいなので、受光部の基本セルの入ったパターンを 横10個×縦10個ショットし、その周りにIO関係のセルをショットすることで1個のダイを作ると考えてください。   受光部のセルも140×190ミクロンと大きいので多少のゴミがじゃ歩留まりに影響せず、作ったものはそのまま出てくると思っていいですね。   木曽のシュミットは元々は36cm□のガラス乾板を使っていたので望遠鏡自体のイメージサークルは大きく、今回の20cm□CMOSセンサーは余裕で入ることになります。というか、20cm□CMOSセンサーが入る望遠鏡って近場だとここぐらいなんかじゃないかと・・・
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